チャンバー
プロセスおよびコンディショニング用

繊細な工程を安全に密封するための高精度製造

レシピエントは機能的に敏感なサブシステムである。全体として考えなければならない。エアロック・フラップだけに気を取られていると、シーリング面の詳細を忘れてしまうかもしれない。あるいは、プロセスチャンバーがメンテナンスのために容易にアクセスできなければならないという事実を無視することにもなりかねない。

全体像だけが解決策を示します。デリケートな工程には、例えば金属製の堅牢な構造をお勧めします。溶接構造よりも安全で正確です。エンジニアリング、エアロックや基板搬送のための部品、シール面の設計、製造、予備組立 – 私たちは全体像を見るだけでなく、それを実行します。

箱の中を考える!

あなたの利点

30年間、15立方メートルまで

  • カスタマイズ– お客様の仕様に合わせたデザイン
  • 小型から超大型まで– 5000 x 3000 x 1000 mm
  • 経験– 当社は30年にわたり真空シール面を製造してきました。
  • 無垢材からの削り出し– 堅牢でタイト

真空チャンバーのすべて エンジニアリングからリークテストまで

投資に最適なオプション

真空チャンバーの設計と構造には多くの選択肢がある。

あなたの課題に対するすべての解決策が同じように良いとは限りません。インターロックは空気圧で作動させるのか、電気的に作動させるのか、それとも機械的に作動させるのか。それとも、開閉、ロック、アンロックを1つのドライブで行いたいですか?それならカム駆動が理想的です。これは計算が複雑で、製造も難しい。しかし、信頼性は抜群で、常に高精度で作動します。

こうした質問はプロジェクトごとに異なります。WASSERMANNはお客様と共にこれらの疑問に答え、選択肢の中から最適な結果を生み出します。

内部と外部を安全に分ける方法

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0 mm 280 mm
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0 mm 26 mm
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mm 750 mm
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0 mm 3400 mm
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kg 800 kg
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kg 50 kg
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0 pcs. 1000 pcs.
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pcs. 81 pcs.
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m² 13.6 m²
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0 mm 10 mm
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mm 3900 mm
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mm 500 mm
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mm 4656 mm
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0 mm 600 mm
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0 mm 800 mm
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担当者
真空チャンバー用

カタリーナ・ビッビッヒ

M.
キーアカウントマネージャー / デジタルセールス

受託製造

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