チャンバー
プロセスおよびコンディショニング用

繊細な工程を安全に密封するための高精度製造

レシピエントは機能的に敏感なサブシステムである。全体として考えなければならない。エアロック・フラップだけに気を取られていると、シーリング面の詳細を忘れてしまうかもしれない。あるいは、プロセスチャンバーがメンテナンスのために容易にアクセスできなければならないという事実を無視することにもなりかねない。

全体像だけが解決策を示します。デリケートな工程には、例えば金属製の堅牢な構造をお勧めします。溶接構造よりも安全で正確です。エンジニアリング、エアロックや基板搬送のための部品、シール面の設計、製造、予備組立 – 私たちは全体像を見るだけでなく、それを実行します。

箱の中を考える！

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あなたの利点
30年間、15立方メートルまで

カスタマイズ– お客様の仕様に合わせたデザイン
小型から超大型まで– 5000 x 3000 x 1000 mm
経験– 当社は30年にわたり真空シール面を製造してきました。
無垢材からの削り出し– 堅牢でタイト

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真空チャンバーのすべてエンジニアリングからリークテストまで

投資に最適なオプション

真空チャンバーの設計と構造には多くの選択肢がある。

あなたの課題に対するすべての解決策が同じように良いとは限りません。インターロックは空気圧で作動させるのか、電気的に作動させるのか、それとも機械的に作動させるのか。それとも、開閉、ロック、アンロックを1つのドライブで行いたいですか？それならカム駆動が理想的です。これは計算が複雑で、製造も難しい。しかし、信頼性は抜群で、常に高精度で作動します。

このような質問はプロジェクトに特有のものです。WASSERMANNはお客様とともにそれらに答え、選択肢を最適な結果へと導きます。