チャンバー プロセスおよびコンディショニング用 繊細な工程を安全に密封するための高精度製造 レシピエントは機能的に敏感なサブシステムである。全体として考えなければならない。エアロック・フラップだけに気を取られていると、シーリング面の詳細を忘れてしまうかもしれない。あるいは、プロセスチャンバーがメンテナンスのために容易にアクセスできなければならないという事実を無視することにもなりかねない。 全体像だけが解決策を示します。デリケートな工程には、例えば金属製の堅牢な構造をお勧めします。溶接構造よりも安全で正確です。エンジニアリング、エアロックや基板搬送のための部品、シール面の設計、製造、予備組立 – 私たちは全体像を見るだけでなく、それを実行します。 箱の中を考える! カウンセリング予約 あなたの利点 30年間、15立方メートルまで カスタマイズ– お客様の仕様に合わせたデザイン 小型から超大型まで– 5000 x 3000 x 1000 mm 経験– 当社は30年にわたり真空シール面を製造してきました。 無垢材からの削り出し– 堅牢でタイト 製品例へ 真空チャンバーのすべて エンジニアリングからリークテストまで 投資に最適なオプション 真空チャンバーの設計と構造には多くの選択肢がある。 あなたの課題に対するすべての解決策が同じように良いとは限りません。インターロックは空気圧で作動させるのか、電気的に作動させるのか、それとも機械的に作動させるのか。それとも、開閉、ロック、アンロックを1つのドライブで行いたいですか?それならカム駆動が理想的です。これは計算が複雑で、製造も難しい。しかし、信頼性は抜群で、常に高精度で作動します。 このような質問はプロジェクトに特有のものです。WASSERMANNはお客様とともにそれらに答え、選択肢を最適な結果へと導きます。 加圧下と負圧下 搬送システム、回転フィードスルー、カソードドライブの例は、当社がいかに柔軟にお客様のプロジェクトをサポートしているかを示しています。 少量の機能素子、最大5 x 3メートルのプロセスエリアを持つ固体金属製のチャンバー、ターンキーシステム:受信者のための経験豊富なオールラウンダーを信頼してください。 エンジニアリングからお客様のシステムのリークテストのコンセプトまで、当社はあらゆるステップでお客様とともにあります。 移送業務:真空チャンバー用エアロック 真空は不変である。 なぜなら、それはお客様の生産プロセスにとって不可欠だからです。私たちはこの不変性を維持します。私たちは、真空インターロックと真空チャンバーの機能的・品質的要件に精通しています。また、お客様のシステムに合わせて、特殊で高機能なソリューションを開発・製造することも可能です。お客様の将来の製品が確実に真空に出入りできるようにします。 真空チャンバーが不用意に収縮することなく、システムを稼動させることができます。私たちのソリューションを知ってください。 内部と外部を安全に分ける方法 真空ハウジング チェンバーフロア 裁判室 チャンバー蓋 真空チャンバー 現在、サンプルプロジェクトは公開されていません。詳しくは直接お問い合わせください。 コンサルテーションのご予約はこちらから